中微公司丛海：未来3到5年拟累计开发102个新设备 研发总投资近130亿元

在2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，中微公司资深副总裁丛海表示，公司现有54种高端设备产品系列，研发周期从3—5年缩短至2年以内，每年开发20多种新设备。他透露，中微公司近3到5年将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元，覆盖集成电路前道高端设备、后道先进封装设备及泛半导体领域设备。其还称，今后五到十年将与合作伙伴努力覆盖60%的集成电路高端设备市场。

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