三星蚀刻工艺配方泄露至泛林韩国，被定性为重大技术泄露事件

据财闻援引THE ELEC报道，三星电子半导体蚀刻工艺配方泄露至美国设备厂商泛林的韩国分支机构。泛林向三星供应蚀刻、沉积等设备，按约定仅可在设备性能优化、维护保养范围内申请获取部分数据，但三星禁止对外流出的工艺配方文件被单独交付给泛林韩国。

信源原题：三星蚀刻核心配方严重泄露！泛林韩国多次违规获取机密工艺文件

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