中微公司湾芯展展示多款高端半导体设备，五年目标覆盖60%以上高端设备市场

21世纪经济报道，10月14日2026湾芯展在深圳开幕，中微公司展示CCP刻蚀、ICP低能等离子体刻蚀、TSV刻蚀、薄膜沉积、CMP、MOCVD等多款设备。公司介绍，未来3到5年将累计开发102款新设备，研发总投资近130亿元。

信源原题：中微多款高端半导体设备齐发，五年目标覆盖60%+高端设备市场

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