国产半导体装备关键期，汇川技术携三大主线亮相湾芯展

10月14日，在本届湾芯展上，汇川技术携面向晶圆制造及封装测试场景的核心部件与技术平台方案亮相，重点展示精密运控、工艺控制、智能温控三条主线。报道称，其高精密运控方案已用于纳米级精密设备关键环节，高节拍运控方案已在转塔分选、IC固晶、探针台等设备上批量应用。

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