上海微电子展示SSC800/SSB800光刻系统：关键部件国产化率超90%，称累计加工超1000万片晶圆

TrendForce引述ijiwei、EETOP等报道，上海微电子在11月5日至10日举行的第九届进博会上展示新一代前道干式扫描投影光刻系统SSC800和SSB800，支持I-line和KrF，关键部件国产化率超过90%。

信源原题：[News] China’s SMEE Showcases Lithography Systems with 90%+ Localized Parts, Claims 10M+ Wafers Processed

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