米莱芯程高安：国产光刻机整机与零部件攻坚，首台i-line光刻机预计年内交付

21世纪经济报道采访米莱芯程创始人高安。公司拟3.61亿元增资，投前估值15亿元，联合化学、聚源创投、深圳华控、正和创投等参投。产品路线从i-line起步，逐步切入KrF、ArF干式和浸没式；i-line已进入最终调试，计划年内发布，年底向天使客户交付首台并验证，明年年底前优化定型后启动量产，力争2027年底至2028年初小批量出货。

信源原题：米莱芯程高安：国产光刻机破局，整机集成与零部件攻坚缺一不可

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